產(chǎn)品簡介

OWT-200采用PHYS獨有技術，對透明、半透明、不透明幾乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,彎曲度，平整

度進行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高精度測量的性價比在同類測試儀器中是無可比擬的。

特征

無接觸無損傷測量

高度及重復性

測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的

厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV

抗干擾強，穩(wěn)定性好

強大的工控機控制和大屏幕顯示

一體化設計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定

為晶圓硅片關鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量

超高測試速度

技術指標

測試尺寸：50mm-200mm.

厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um

厚度測試精度：+/-0.1um

厚度重復性精度：0.050um

TTV 測試精度: +/-0.1um

TTV重復性精度: 0.01um

Warp/Bow精度: 0.2um

Warp/Bow重復度: 0.5um

測量時間: 材料：透明、半透明、不透明幾乎所有的材料

尺寸: 560X650X400mm

電源：220V 50HZ 300W

主要客戶：歐洲、美洲、臺灣等地區(qū)藍寶石生產(chǎn)企業(yè)

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北京合能陽光新能源技術有限公司

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