在功率半導(dǎo)體模塊（如IGBT）的封裝制造中，芯片貼裝（Die Attach）是影響產(chǎn)品可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。該工藝面臨的核心難點(diǎn)在于：大面積功率芯片在高溫焊接過(guò)程中容易引發(fā)基板翹曲，從而導(dǎo)致焊接缺陷。而一項(xiàng)針對(duì)性的解決方案——采用耐高溫防變形專用治具，可顯著改善界面連接質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)焊接強(qiáng)度大幅提升達(dá)30%。

? 核心工藝難點(diǎn)分析

功率器件采用高溫焊料（如錫銻、錫銀銅等）或銀燒結(jié)工藝時(shí)，回流溫度往往超過(guò)280℃。在此高溫環(huán)境下，DBC陶瓷基板因材料間熱膨脹系數(shù)差異，會(huì)產(chǎn)生顯著的熱致翹曲變形，進(jìn)而引發(fā)以下幾類問(wèn)題：

焊接空洞率升高：基板變形使液態(tài)焊料無(wú)法均勻鋪展，冷卻后形成氣泡和空洞，增加熱阻；

芯片下方焊料厚度分布不均，局部應(yīng)力集中，甚至導(dǎo)致虛焊；

芯片受到非均勻熱應(yīng)力，嚴(yán)重時(shí)引發(fā)隱裂或偏移。

這些缺陷直接降低了焊接界面的機(jī)械強(qiáng)度與導(dǎo)熱性能，成為模塊早期失效的主要誘因。

? 耐高溫防變形治具的關(guān)鍵技術(shù)

該類治具的核心功能是在整個(gè)焊接熱過(guò)程中對(duì)基板施加均勻反向壓力，抑制其變形，確保芯片與基板始終保持平整貼合。其技術(shù)特點(diǎn)包括：

低熱膨脹材料結(jié)構(gòu)：

治具主體通常選用碳纖維復(fù)合材料、殷鋼或高性能合成石（如PO系列），這些材料在高溫下仍能保持的尺寸穩(wěn)定性；

多點(diǎn)均壓系統(tǒng)：

治具上蓋內(nèi)置彈簧加壓?jiǎn)卧蚍滦螇簤K，能夠在合模后為每顆芯片提供獨(dú)立且穩(wěn)定的壓力，有效抵抗基板翹曲；

熱-結(jié)構(gòu)協(xié)同設(shè)計(jì)：

治具需具備良好的導(dǎo)熱均衡性，避免形成局部熱沉，同時(shí)某些高端型號(hào)還集成加熱與測(cè)溫功能，實(shí)現(xiàn)工藝溫度曲線控制；

兼容嚴(yán)苛工藝環(huán)境：

可適用于真空燒結(jié)工藝，具備低析氣、耐高溫特性，確保過(guò)程無(wú)污染。

? 焊接強(qiáng)度提升30%的實(shí)現(xiàn)機(jī)理

該項(xiàng)指標(biāo)通常通過(guò)芯片剪切力測(cè)試進(jìn)行量化驗(yàn)證，其提升主要來(lái)源于：

空洞率顯著下降：基板保持平整使得焊料流動(dòng)與填充更為均勻，將空洞率由15%以上降低至3%以下，有效連接面積增加；

焊接層均勻性改善：整體壓力分布一致使焊層厚度均勻，熱循環(huán)壽命提高，剪切測(cè)試數(shù)據(jù)離散性減??；

芯片應(yīng)力優(yōu)化：避免因非均勻變形導(dǎo)致的剪切或扭應(yīng)力，保護(hù)芯片結(jié)構(gòu)完整性。