表面平整度高:為減少信號(hào)散射,電鍍層需具備的表面平整度,特別是在微帶線(xiàn)、共面波導(dǎo)等結(jié)構(gòu)中,通常要求鍍層表面粗糙度 Ra前處理:包括除油、微蝕等步驟,去除基板表面的有機(jī)物和氧化層,粗化表面以提高鍍層附著力。對(duì)于羅杰斯等特殊基材,可能還需要進(jìn)行等離子體處理。
種子層沉積:采用化學(xué)鍍或物相沉積(PVD)方法,在基板表面形成一層薄的導(dǎo)電種子層,通常為銅或鎳,厚度約 0.1-0.5μm。
圖形電鍍:通過(guò)光刻技術(shù)定義線(xiàn)路圖形,然后對(duì)圖形區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,如鍍銅至 5-15μm,以形成導(dǎo)線(xiàn)主體。對(duì)于高頻高速線(xiàn)路板,常采用脈沖電鍍或周期反向電鍍,以改善鍍層結(jié)晶結(jié)構(gòu)。
圖形轉(zhuǎn)移:定義線(xiàn)路與鍍層區(qū)域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過(guò)曝光、顯影工藝,將線(xiàn)路圖形轉(zhuǎn)移到基材表面。
高頻高速板對(duì)圖形精度要求,需控制線(xiàn)寬 / 線(xiàn)距偏差≤±1μm,避免開(kāi)窗偏移導(dǎo)致鍍層錯(cuò)位。
顯影后進(jìn)行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線(xiàn)路區(qū)域完全裸露、非線(xiàn)路區(qū)域被保護(hù)。
