關鍵成本與質量控制點
成本核心:金鹽、銅鹽等貴金屬原料占比高(約占原材料成本的 30%-40%),細線路加工導致的良率損耗會顯著推高單位成本。
質量控制:需檢測鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(膠帶測試)、耐腐蝕性(鹽霧測試),以及線路完整性(AOI 檢測)。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設備可加工尺寸高達 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復雜結構處理:對于埋入式扇出型封裝結構,可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產生空洞等缺陷。
工藝流程
前處理:包括對載板進行開槽、打通孔等操作,然后將載板貼在承載膠上,植入芯片和金屬塊,進行次塑封,形成塑封層;之后拆除承載膠,對一次塑封件另一面進行第二次塑封,形成第二塑封層。
電鍍準備:在塑封層和第二塑封層上打盲孔,以露出芯片的 IO 接口和金屬塊,然后對盲孔進行真空濺射,并在二次塑封件的上、下兩面建立種子層。
電鍍沉積:通過電解或化學沉積方式,讓金屬離子在載板表面沉積形成所需的鍍層,如銅、鎳、金、錫等鍍層,在電鍍過程中需要控制電場、電鍍液成分、溫度、電流密度等參數(shù),以確保鍍層的質量和性能。
后處理:電鍍完成后,進行清洗、烘干等操作,去除表面殘留的電鍍液和雜質,然后對鍍層進行檢測,如檢測鍍層厚度、附著力、孔隙率等,確保產品質量符合要求。
通訊載板電鍍加工關鍵技術
電鍍液配方優(yōu)化:為了實現(xiàn)高精度的電鍍效果,需要針對不同的鍍層和工藝要求,優(yōu)化電鍍液配方。例如,銅鍍液中銅離子濃度、硫酸濃度以及添加劑的種類和含量等都需要控制,以保證鍍層的均勻性、致密度和附著力。
添加劑控制:添加劑在通訊載板電鍍中起著關鍵作用,通過控制抑制劑、光亮劑和整平劑等添加劑的濃度和比例,可以實現(xiàn)超細線路的均勻電鍍,避免出現(xiàn)鍍層橋連、空洞等缺陷。
設備與工藝參數(shù)調控:先進的電鍍設備能夠控制電場、電流密度、溫度、時間等參數(shù),確保電鍍過程的穩(wěn)定性和一致性。例如,在脈沖電鍍中,通過合理設置脈沖參數(shù),可以改善鍍層的結晶結構,提高鍍層的性能。
