從化學(xué)角度看,ITO是一種復(fù)合氧化物,其性能很大程度上取決于氧化銦和氧化錫的比例。氧化銦提供高透明度,而氧化錫的摻雜則增強(qiáng)了材料的導(dǎo)電性。通過控制這兩者的配比,ITO能夠在保持光學(xué)透明的同時(shí),具備接近金屬的導(dǎo)電能力。這種“透明卻導(dǎo)電”的特性,使得ITO成為制造透明導(dǎo)電膜的理想選擇。
ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見的薄膜沉積技術(shù),通過高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子被“敲擊”出來,終沉積在基板上,形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間,卻能同時(shí)實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電和透光的功能。
區(qū)別對(duì)比
?成分差異:銦靶材為純金屬銦制成,而ITO靶材則是銦錫氧化物的復(fù)合物。
?用途不同:銦靶材主要用于需要高導(dǎo)電性和延展性的領(lǐng)域,如航空航天部件;ITO靶材則因其透明導(dǎo)電性廣泛應(yīng)用于光電顯示領(lǐng)域。
?性能特點(diǎn):銦靶材更側(cè)重于導(dǎo)電性和機(jī)械強(qiáng)度,而ITO靶材則兼顧導(dǎo)電性和光學(xué)透明性。
銦回收具有重要的環(huán)保和經(jīng)濟(jì)效益。通過回收廢舊靶材中的銦,可以減少對(duì)新資源的開采,降低環(huán)境污染,實(shí)現(xiàn)資源的可持續(xù)利用。此外,回收銦還能穩(wěn)定市場(chǎng)供應(yīng),降低生產(chǎn)成本,促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。

