顯示領域:廣泛應用于液晶顯示器(LCD)、有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)等顯示器件的制造,用于形成透明導電薄膜,提高顯示器的性能和質量。
銦靶是現(xiàn)代電子信息、新能源、高端制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的底層關鍵材料,其應用深度和廣度直接反映一個國家在半導體、顯示、光伏等領域的技術水平。由于全球銦資源稀缺(主要伴生于鋅礦),且提純工藝復雜,銦靶的供應鏈已成為各國關注的重點。未來,隨著 5G、AI、新能源汽車等產(chǎn)業(yè)的爆發(fā),銦靶的需求將持續(xù)增長,同時推動高純銦(99.999% 以上)制備技術的不斷突破。
濺射氣體控制
氣體純度:使用高純氬氣(99.999% 以上),避免氧氣、水汽混入導致銦靶氧化(氧化銦導電性下降,易形成電弧放電)。
氣壓調節(jié):
直流濺射(DC):氣壓通常為 0.1~10 Pa,低氣壓下濺射速率高但薄膜致密度低;高氣壓下薄膜均勻性好但沉積速率慢。
射頻濺射(RF):適用于絕緣基底,氣壓可略高于直流濺射,需根據(jù)薄膜厚度要求動態(tài)調整。
靶材回收與再利用
回收價值:報廢銦靶(含濺射過程中產(chǎn)生的碎屑、廢膜)可通過化學溶解(如鹽酸溶解)、電解精煉等工藝回收銦金屬(回收率可達 95% 以上),降低生產(chǎn)成本。
環(huán)保要求:回收過程中產(chǎn)生的廢水需處理至重金屬排放標準(如銦離子濃度≤0.1 mg/L),避免環(huán)境污染。

