草酸濃度管理器

主要用于LCDITO、觸摸屏行業(yè)蝕刻ITO用的草酸的濃度的控制。

本裝置是對(duì)加工機(jī)的處理液濃度進(jìn)行歷時(shí)測(cè)定，通過(guò)補(bǔ)給控制水，將濃縮了的游離草酸控制到一定濃度的裝置。

本裝置由濃度測(cè)定部和操作控制部構(gòu)成。

操作控制部搭載有濃度測(cè)定部和加工設(shè)備間的輸出入信號(hào)的控制機(jī)能。

1.裝置的1.裝置的概要4

1-1裝置的概要4

2.裝置的機(jī)能5

2-1各部的名稱和按鍵的機(jī)能5

2-1-1運(yùn)轉(zhuǎn)操作盤的外觀和各部的機(jī)能5

3.運(yùn)轉(zhuǎn)操作6

3-1動(dòng)力的設(shè)定6

3-1-1電源6

3-1-2計(jì)裝空氣6

3-1-3洗凈水的供給6

3-1-4樣液的供給6

4.操作畫面7

◇4-1.投入電源后的主頁(yè)面菜單7

◇4-2.畫面切換操作說(shuō)明8

◇4-3.自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)操作說(shuō)明9

4-3-1.按鍵名稱的說(shuō)明9

LOCAL模式＋MONITOR模式9

LOCAL模式＋CONTROL模式9

REMOTE模式＋MONITOR模式9

REMOTE模式＋CONTROL模式9

4-3-2.測(cè)定動(dòng)作10

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