壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機的性能以及諸如測量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。隨著微電子技術(shù)和計算機的進一步發(fā)展,壓阻式傳感器的應(yīng)用還將迅速發(fā)展。
性能穩(wěn)定、可靠性高:由于工作彈性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級,彈性薄膜位移在亞微米數(shù)量級,因而無磨損、無疲勞、無老化。壽命長達107壓力循環(huán)次以上。溫度系數(shù)小: 由于微電子技術(shù)的進步,四個應(yīng)變電阻的一致性可做的很高,加之激光修調(diào)技術(shù)、計算機自動補償技術(shù)的進步,硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數(shù)已可達10-5/℃數(shù)量級,即在壓力傳感器領(lǐng)域已超過溫度系數(shù)小的應(yīng)變式傳感器的水平。
適應(yīng)介質(zhì)廣: 由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能,與硅油的良好可兼容性,使得隔離式結(jié)構(gòu)易于實現(xiàn),即使非隔離型的壓阻壓力傳感器,也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。 防爆: 由于其低電壓、低電流的低功耗特點,它是本質(zhì)防爆型產(chǎn)品,可廣泛用于各種化工工業(yè)檢測控制等領(lǐng)域,具有性價比。
交叉靈敏度分析
交叉靈敏度既與傳感器應(yīng)變片自身的壓阻系數(shù)、彈性模量、溫度系數(shù)有關(guān),又與電橋的供電電壓有關(guān),因此應(yīng)變和溫度同時作用于傳感器時,傳感器的輸出不是應(yīng)變和溫度單獨作用時產(chǎn)生的輸出量的簡單迭加,還存在著熱力學(xué)和力學(xué)量的相互作用,這個作用反映為交叉靈敏度,其大小反映了這種相互作用的程度。

