潔凈環(huán)境是為生產工藝服務的,潔凈室設計必須滿足生產工藝的環(huán)境要求,這是理所當然的。因此,在潔凈室設計時生產工藝對環(huán)境參數的要求應該實事求是,其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應該該高則高,該低則低,并非越高越好。在不影響生產工藝正常運行的前提下盡可能地降低參數要求,控制凈化面積,縮小高凈化級別潔凈區(qū)的范圍,嚴格控制100級和更高級別單向流潔凈區(qū)的面積。 [3]
潔凈車間,亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。
潔凈技術,即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是:對象(產品、人及動物)在被加工、處置、、防護及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內玷污物(影響對象的加工、處置、等質量、合格率或成功率的物質)進行控制的技術。
玷污物的污染包含對產品的損害和對人的危害。
污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。
人是污染源的發(fā)源地:靜坐時,人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?!?.5μm);
每天脫落6~13克表皮細胞,一年脫落人體細胞約3.5公斤。
半導體潔凈室內微污染來源,經測試,作業(yè)人員占80% 。

