室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：

(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。

(2)新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮 空氣量≥40m3/h。

(3)送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來(lái)確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室。

(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceiling rod)、鋼梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車(chē)等。

(3)隔墻板：包括窗戶(hù)、門(mén)。

(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：

(1)不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕。

(2)不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子。

(3)吸濕性小。

(4)為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

進(jìn)入潔凈區(qū)的空氣，經(jīng)過(guò)初效(又稱(chēng)粗效)、中效、三級(jí)過(guò)濾器過(guò)濾，使空氣達(dá)到所要求的潔凈級(jí)別。由于過(guò)濾器可以濾除<1μm(微米)的塵埃粒子，對(duì)的穿透率為10-6，所以通過(guò)過(guò)濾器的空氣，可視為無(wú)菌。