相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

食品衛(wèi)生質(zhì)量直接關(guān)系到人們的身體健身和生命。影響食品衛(wèi)生質(zhì)量的因素有生產(chǎn)原料及輔料、生產(chǎn)工藝技術(shù)和生產(chǎn)環(huán)境等。食品生產(chǎn)環(huán)境包括可能與食品接觸 的設(shè)備(工器具)、人員和空氣等，其生產(chǎn)控制的目的是為了防止食品在不衛(wèi)生的條件下加工。食品生產(chǎn)用潔凈間(區(qū))的污染控制是食品生產(chǎn)環(huán)境控制的關(guān)鍵 環(huán)節(jié)，其控制對(duì)象包括塵粒和微生物。

凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞空氣過(guò)濾器代空氣過(guò)濾器。

空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器；中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；空氣過(guò)濾器或亞空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用；阻力、效率相近的空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。